声明

本文是学习GB-T 26071-2018 太阳能电池用硅单晶片. 而整理的学习笔记,分享出来希望更多人受益,如果存在侵权请及时联系我们

1 范围

本标准规定了太阳能电池用硅单晶片(简称硅片)的牌号及分类、要求、试验方法、检验规则、标志、

包装、运输、贮存、质量证明书和订货单(或合同)内容等。

本标准适用于由直拉法制备的硅单晶加工成的准方形或方形硅片,产品用于制作太阳能电池的衬

底片。

2 规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。

GB/T 1550 非本征半导体材料导电类型测试方法

GB/T 1551 硅单晶电阻率测定方法

GB/T 1555 半导体单晶晶向测定方法

GB/T 2828.1—2012 计数抽样检验程序 第1部分:按接收质量限(AQL)
检索的逐批检验抽样

计划

GB/T 6616 半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测试方法 非接触涡流法

GB/T 6618 硅片厚度和总厚度变化测试方法

GB/T 6619 硅片弯曲度测试方法

GB/T 6620 硅片翘曲度非接触式测试方法

GB/T 11073 硅片径向电阻率变化的测量方法

GB/T 14140 硅片直径测量方法

GB/T 14264 半导体材料术语

GB/T 14844 半导体材料牌号表示方法

GB/T 25076 太阳能电池用硅单晶

GB/T 26068 硅片载流子复合寿命的无接触微波反射光电导衰减测试方法

GB/T 30859 太阳能电池用硅片翘曲度和波纹度测试方法

GB/T 30860 太阳能电池用硅片表面粗糙度及切割线痕测试方法

GB/T 30869 太阳能电池用硅片厚度及总厚度变化测试方法

YS/T 28 硅片包装

3 术语和定义

GB/T 14264 界定的术语和定义适用于本文件。

4 分类

4.1 牌号

硅片牌号的表示按GB/T 14844 的规定进行。

GB/T 26071—2018

4.2 分类

4.2.1 硅片按导电类型分为 P 型 、N 型两种。

4.2.2 硅片按外形可分为准方形和方形两种。准方形硅片按其边长分为100.75
mm 、125.75 mm 、156I、 156Ⅱ、156Ⅲ、161.75 mm、210.75
mm;方形硅片按其边长可分为100 . 75 mm、125.75 mm、

156.75 mm、210.75 mm;其他尺寸可由供需双方协商确定。

5 要求

5.1 理化性能

硅片的晶体完整性、氧含量和碳含量应符合GB/T 25076
的规定。如有需要,由供方提供各项检验

结果。

5.2 外形尺寸

5.2.1 几何参数

硅片的几何参数应符合表1的规定,如需方有其他要求时,由供需双方协商确定。

1 几何参数 单位为微米

厚度及允许偏差

总厚度变化TTV

弯曲度bow

翘曲度warp

130±15

≤25

≤40

≤40

140±15

150±15

≤30

≤50

50

160±15

170±20

180±20

190±20

200±20

5.2.2 准方形硅片外形尺寸

准方形硅片的外形如图1所示,尺寸应符合表2的规定。需方有其他要求时,由供需双方协商

确定。

style="width:5.22in;height:5.1799in" />

说明:

A— 边长;

C—— 弦长;

D—— 直径;

F— 弧线在边长A 上的投影。

1 准方形硅片外形示意图

2 准方形硅片尺寸

GB/T 26071—2018

单位为毫米

标称尺寸

尺寸

边长A

直径D

100.75

100.75±0.25

126±0.25

125.75

125.75±0.25

151±0.25

156I

156.00±0.25

200±0.25

156Ⅱ

156.75±0.25

205±0.25

156Ⅲ

156.75±0.25

210±0.25

161.75

161.75±0.25

211±0.25

210.75

210.75±0.25

291±0.25

5.2.3 方形硅片外形尺寸

方形硅片的外形如图2所示,尺寸应符合表3的规定。需方有其他要求时,由供需双方协商确定。

GB/T 26071—2018

说明:

A— 边长;

G— 对角线长度;

style="width:4.98652in;height:4.87982in" />

E—— 倒角后的对角线长度; α— 倒角角度。

2 方形硅片外形示意图

3 方形硅片尺寸

标称尺寸

尺寸

边长A

对角线长度G

倒角长度H

100.75

100.75±0.25

142.4±0.5

1.25±0.75

125.75

125.75±0.25

177.8±0.5

1.25±0.75

156.75

156.75±0.25

221.6±0.5

1.25±0.75

210.75

210.75±0.25

298.0±0.5

1.25±0.75

5.2.4 垂直度

硅片相邻两边长(A) 之间的垂直度为90°±0.3°。

5.3 电学性能

硅片的电学性能应符合表4的规定。如对电学性能有其他要求,由供需双方协商确定。

4 电学性能

导电类型

晶向

电阻率

Ω ·cm

径向电阻率变化

%

载流子复合寿命

μs

P

<100>

0.2~6.0

≤15

≥10

N

<100>

0.1~20.0

≤20

≥60

5.4 晶向及晶向偏离度

硅片的晶向为\<100),晶向偏离度应不大于2°。硅片四个边缘晶向为\<100>±2°。

GB/T 26071—2018

5.5 表面质量

硅片的表面质量应符合表5的规定。

5 表面质量

项 目

要求

线痕

深度不大于15μm

裂纹

崩边

每片不超过2个,宽小于0.5 mm,径深小于0.3 mm

缺口

孔洞

色差

无明显色差

6 试验方法

6.1 厚度和总厚度变化的测量按 GB/T 6618或 GB/T 30869
的规定进行。仲裁方法按GB/T 6618 的 规定进行。

6.2 弯曲度的测量按GB/T 6619 的规定进行。

6.3 翘曲度的测量按 GB/T6620 或 GB/T30859 的规定进行。仲裁方法按 GB/T6620
的规定进行。

6.4 直径的测量按GB/T14140 的规定进行。

6.5
除厚度、总厚度变化、弯曲度、翘曲度、直径外的外形尺寸的测量用游标卡尺或相应精度的量具
进行。

6.6 导电类型的测试按GB/T 1550 的规定进行。

6.7 电阻率的测试按 GB/T 6616 的规定进行,也可按 GB/T 1551
的规定进行。仲裁方法按 GB/T 6616的规定进行。

6.8 径向电阻率变化的测试按 GB/T11073
的规定进行,测试点的选择方案和径向电阻率变化计算公

式的选择由供需双方协商确定。

6.9 载流子复合寿命的测试按GB/T26068
的规定进行,或按照供需双方协商确定的方法进行。

6.10 晶向及晶向偏离度的测试按GB/T1555 规定进行。

6.11 除线痕外的表面质量在4301x~650
lx光强度的荧光灯或乳白灯下目视检查。线痕深度的测量 按 GB/T 30860
的规定进行。

7 检验规则

7.1 检查和验收

7.1.1
产品应由供方技术(质量)监督部门进行检验,保证产品质量符合本标准和订货单(或合同)的规
定,并填写产品质量证明书。

7.1.2
需方可对收到的产品按本标准的规定进行检验,若检验结果与本标准或订货单(合同)的规定不
符时,应在收到产品之日起3个月内向供方提出,由供需双方协商解决。

7.2 组批

产品应成批提交验收。每批应由相同外形尺寸、相同导电类型、相同电阻率范围的硅片组成。

GB/T 26071—2018

7.3 检验项目

7.3.1
每批产品应对外形尺寸、导电类型、电阻率、径向电阻率变化、晶向、晶向偏离度、表面质量进行
检验。

7.3.2 载流子复合寿命是否检验由供需双方协商确定。

7.4 取样

7.4.1 除载流子复合寿命外的项目检验取样按GB/T 2828. 1—2012
一般检验水平Ⅱ,正常检验一次抽
样方案进行,或由供需双方协商确定的抽样方案进行。

7.4.2
载流子复合寿命的检验结果由供方提供,或载流子复合寿命的检验取样由供需双方协商。

7.5 检验结果的判定

7.5.1 硅片检验的接收质量限见表6。

6 接收质量限

序号

检验项目

一般检验水平

接收质量限(AQL)

1

厚度

1.0

2

总厚度变化

1.0

3

弯曲度

1.0

4

翘曲度

1.0

5

直径

1.0

6

边长

1.0

7

对角线长度

1.0

8

倒角长度

1.0

9

垂直度

1.0

10

导电类型

0.01

11

电阻率

1.0

12

径向电阻率变化

1.0

13

晶向

0.01

14

晶向偏离度

1.0

15

表面质量

线痕深度

1.0

裂纹

1.0

崩边

1.0

缺口

1.0

孔洞

1.0

累计

2.5

7.5.2 载流子复合寿命检验结果的判定由供需双方协商。

GB/T 26071—2018

8 标志、包装、运输、贮存和质量证明书

8.1 标志

产品包装箱外应标有"小心轻放""防腐""防潮"字样或标志,并注明:

a) 供方名称;

b) 产品名称;

c) 产品数量。

8.2 包装

产品包装按 YS/T 28 的规定进行,或由供需双方协商确定。

8.3 运输

产品在运输过程中应轻装轻卸,严禁抛掷,且应采取防震、防潮措施。

8.4 贮存

产品应贮存在清洁、干燥环境中。

8.5 质量证明书

每批产品应附上质量证明书,其上注明:

a) 供方名称;

b) 产品名称或牌号;

c) 产品批号;

d) 产品片数;

e) 各项检验结果及检验部门印记;

f) 本标准编号;

g) 出厂日期。

9 订货单(或合同)内容

订购本标准所列产品的订货单(或合同)应包含下列内容:

a) 产品名称;

b) 产品要求;

c) 数量;

d) 本标准编号;

e) 供需双方协商确定的其他要求。

延伸阅读

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